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Keithley Automated Characterization Suite (ACS)-Software

Der Automated Characterization Suite (ACS) von Keithley ist eine flexible, interaktive Software-Testumgebung für die Charakterisierung von Geräten, für parametrische Tests, Zuverlässigkeitstests und sogar einfache Funktionstests. ACS unterstützt ein breites Spektrum an Keithley-Instrumenten und -Systemen, Hardwarekonfigurationen und Testeinstellungen, von einigen Tischinstrumenten zur Verwendung in einem QS-Labor bis hin zu vollständig integrierten und automatisierten Testsystemen auf Rack-Basis. Mit ACS sind Benutzer in der Lage, Tests schnell und ohne Programmierkenntnisse durchzuführen.

 

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Flexibilität bei Programmierungspräferenzen für Charakterisierungsanwendungen

Mit dem Script Editor verfügt ACS über ein unabhängiges Tool mit grafischer Benutzeroberfläche für die Generierung von Python- und TSP® Scripts zur Instrumentenkontrolle, Datenanalyse und Systemautomatisierung. Es bietet intuitive Möglichkeiten zur Entwicklung und Herstellung im GUI-Design sowie zur Verwaltung von Benutzerbibliotheken und -modulen.

Automatisieren Sie Ihre Datenerfassung

Die Option zur Automatisierung der Wafersonden in ACS erleichtert die Verknüpfung einer Vielzahl der gängigsten halb oder vollautomatischen Wafersondenstationen in Ihrem Versuchsaufbau, wodurch in kürzester Zeit eine große Datenmenge erfasst werden kann. Diese Option beinhaltet ein Wafer-Beschreibungsprogramm, Real-Time Wafer-Karten zur Klasseneinteilung, ein Kassettenprogramm für Probenpläne sowie ein Kassetten- und Waferprüfprogramm nach dem Versuch. Viele der Tools und Features von ACS dienen zur Verbesserung der Charakterisierung automatisierter Geräte.

Teilen Sie Testprojekte und Ergebnisse

Die wesentlichen Komponenten von ACS unterstützen eine Vielzahl an Hardwarekonfigurationen, was Zeit spart und Ihre Produktivität erhöht. Systeme arbeiten von einer Hardware zur anderen konsistent. So können Sie Ihre Daten beispielsweise ganz einfach von einem ACS-System zur Komponentencharakterisierung auf einem Einzelgerät auf ein anderes Gerät zur Waferprüfung übertragen.

Maximieren Sie die Produktivität Ihrer Keithley-Hardware

ACS-Tools vereinfachen die Testentwicklung und maximieren die Geschwindigkeit jedes Instruments von Keithley, das in das System integriert ist. Hardware, die sowohl ACS als auch Keithley TSP nutzt, bietet den höchsten Durchsatz in der Branche und senkt so die Testkosten. Dabei müssen Sie keine Zeit zum Erlernen neuer Programmierkonzepte oder -sprachen aufwenden, bevor Sie die Daten erhalten, mit denen Sie Ihre Ziele erreichen können.

Unterstützte Instrumente

Gerätetyp Modell ACS-Edition
SMU-Geräte Serie 2600B: 2601B, 2602B, 2604B, 2611B, 2612B, 2614B, 2634B ,2635B, 2636B
Serie 2600A: 2601A, 2602A ,2611A, 2612A, 2635A, 2636A
Serie 2400 Grafischer Touchscreen: 2450, 2460, 2460-NFP, 2460-NFP-RACK, 2460-RACK, 2461, 2461-SYS, 2470
Serie 2400 Standard: 2401, 2410, 2420, 2430, 2440
2606B High Density: 2606B
Serie 2650 Series für hohe Leistung: 2651A, 2657A
ACS Basic
ACS Standard
Parameter-Analysatoren 4200A ACS Basic
ACS Standard
DMM DMM7510, Serie 2010 ACS Basic
ACS Standard
Schaltmatrizen HVM1212A ACS Basic
ACS Standard
Schaltsysteme 707A/B, 708A/B, 3700A ACS Basic
ACS Standard
Impulsgeneratoren Serie 3400 ACS Basic
ACS Standard
Tastköpfe TEL P8/P12, TEL T78S/80S, ACCRETECH (Tokyo Semitsu) TSK9/UF200/UF3000/APM60/70/80/90, MPI SENTIO TS2000/TS2000-SE/TS2000-HP/TS3000, FormFactor (Cascade) Summit 12000, FormFactor (Cascade) S300, Suss MicroTec PA200/Cascade CM300, Electroglas EG2X/EG4X, Wentworth Pegasus 300S, Signatone CM500, Yang Sagi3, Micromanipulator P300A ACS Standard

HINWEISE:

  1. ITM unterstützt 24xx-TTI-Geräte, 26xx-Geräte und Mischanwendungen.
  2. Der Benutzer kann alle TSP-Geräte über das STM-Skript steuern. Bestehende ACS STM-Bibliotheken unterstützen bestimmte Geräte je nach Bibliotheksdefinition.
  3. Der Benutzer kann beliebige Geräte über das PTM-Skript steuern. Bestehende ACS PTM-Bibliotheken unterstützen bestimmte Geräte je nach Bibliotheksdefinition.

Informationen zur Tektronix-Software

Modell Product Beschreibung Typ Listenpreis
ACS-BASICFL-UP ACS Basic Edition Jährliche Wartungslizenz für verlängerten Support für unbefristete Floating-Lizenz Abonnement US $450
Konfiguration und Angebot
ACS-STANDARDFL-UP ACS Standard Edition Jährliche Wartungslizenz für verlängerten Support für unbefristete Floating-Lizenz Abonnement US $2,700
Konfiguration und Angebot
ACS-BASICFL ACS Basic Edition ACS Basic Edition Gerätesteuerungssoftware; unbefristete Floating-Lizenz Unbefristet US $2,900
Konfiguration und Angebot
ACS-WLRFL-UP ACS Wafer-Level-Zuverlässigkeits-Edition Jährliche Wartungslizenz für verlängerten Support für unbefristete Floating-Lizenz Abonnement US $4,400
Konfiguration und Angebot
ACS-STANDARDFL ACS Standard Edition ACS Standard Edition Gerätesteuerungssoftware; unbefristete Floating-Lizenz Unbefristet US $18,000
Konfiguration und Angebot
ACS-WLRFL ACS Wafer-Level-Zuverlässigkeits-Edition ACS Wafer Level Zuverlässigkeits-Software; unbefristete Floating-Lizenz Unbefristet US $29,000
Konfiguration und Angebot

Anwendungen von der Theorie zur Praxis

Integrierte Testsysteme mit ACS sind Komplettlösungen für Anwendungen wie die parametrische Die-Sortierung, die Charakterisierung von Hochleistungshalbleiterkomponenten sowie Tests zur Zuverlässigkeit des Wafer-Levels. In Kombination mit den richtigen halbautomatischen und vollautomatischen Sondenstationen kann sowohl die Hardwarekonfiguration als auch die Entwicklung von Testprojekten ganz einfach für spezielle Projekte angepasst werden.

Testen von Leistungshalbleitergeräten mit Keithley Hochleistungssystem-SMU-Geräten und ACS Basic Edition Software Anwendungshinweis

ACS Integriertes Testsystem für parallele Multi-Site-Tests Anwendungshinweis

Power Sequencing zur I-V-Charakterisierung von GaN HEMTs

Da GaN HEMTs „im Normalzustand an“ sind, ist während der I-V-Charakterisierung eine spezielle Power Sequence nötig. Die Software von ACS unterstützt das Power Sequencing zur Charakterisierung der GaN HEMTs, ohne das Gerät zu beschädigen, und kann somit seine wesentlichen Eigenschaften erfassen.

Anwendungshinweis Power Sequencing zur Charakterisierung der GaN HEMTs

Anwendungen für den gesamten Halbleiter-Workflow

Sowohl ACS Basic als auch ACS Standard werden im gesamten Halbleiter-Workflow verwendet, um eine Vielzahl an Tests zur detaillierten Charakterisierung von Halbleitergeräten durchzuführen. Testsysteme mit ASC Basic und ASC Standard bieten:

  • Tests auf Geräte-, Wafer- und Kassettenebene
  • Flexible Anpassung bei Konfigurierung, Software und Anwendungen
  • Interaktive & automatisierte Systembedienung
  • Leistungsstarke Kombination von GUI & Script Tools zur Entwicklung von Testmodulen
Serving Applications Across the Semiconductor Workflow

Entwicklungsphase

Die Software der ACS Basic Edition ist für parametrische Tests von Komponenten- und Einzel-Halbleitergeräten (mit Gehäuse) optimiert. Diese Software maximiert die Produktivität Ihrer Techniker und Ingenieure im Bereich Forschung und Entwicklung und bietet folgende Features:

  • Entwickelt für Geräte mit Gehäuse (MOSFETs, BJTs, IGBTs, Dioden, Resistoren etc.)
  • Große Anzahl von Testbibliotheken für schnellen und einfachen Testaufbau sowie -durchführung ohne Programmierung
  • Integrierte Datenanalysetools zur schnellen Analyse parametrischer Daten
  • Unterstützt SMU-Instrumente der Keithley Serie 2600B (nicht 2604B, 2614B oder 2634B), Serie 2400, 2651A und 2657A

Integrierungsphase

Die Software der ACS Standard Edition wird während der Integrierungsphase von halbautomatischen Wafertests verwendet und beinhaltet eine robuste Prozessentwicklung und Zuverlässigkeit des Wafer-Levels (WLR). Diese Software kann bei Leveltests für SMU-per-pin-Systeme verwendet werden. WLR-Software von ACS bietet folgende Features:

  • Vollautomatische Tests einzelner Wafer oder einer gesamten Kassette
  • Software für flexiblen Testaufbau und flexible Paralleltests
  • Zuverlässigkeitstestmodul (RTM) nach JEDEC Standard Test-Methodologie
  • Hilft bei der Erstellung individueller Testmodule/Testverfahren

Produktionsphase

Die Software der ACS Standard Edition wird ebenfalls bei voll integrierten und automatisierten, benutzerdefinierten Testsystemen zur Prozessüberwachung (PCM) in Racks, Waferkompatibilitätstests (WAT) und Die-Sortierung genutzt. Viele der Tools und Features der ACS Standard Software dienen zur Verbesserung der Charakterisierung automatisierter Geräte:

  • Automatisierung auf Wafer- und Kassettenebene
  • Testkarte zur Zuordnung von Geräten und Tests zu Sites und Subsites
  • Interaktiver Steuermodus für Sondenstationen
  • Keithley-Datei (Einzeln oder pro Wafer)