Keithley Parametrische Testsysteme

Parametrische Testsysteme S530 sind für Produktions- und Laborumgebungen mit einer breiten Palette von Geräten und Technologien bestimmt und bieten branchenführende Prüfplanflexibilität, Automatisierung, Nadelmessplatz-Integration und Funktionen zur Prüfdatenverwaltung. Auf der Grundlage von mehr als 30 Jahren Expertenwissen hat Keithley eine breite Palette von Prüfgeräten für Standards und parametrische Tests für Kunden weltweit entwickelt und bereitgestellt.

Das Multi-Site-Wafer-Testsystem S535 ist eine leistungsfähige, hochauflösende Lösung für Tests von analogen Geräten, Spannungsgeräten Mixed-Signal-Geräten und Einzelbauelementen in Anwendungen des Fab-Workflows. Im Gegensatz zu herkömmlichen, asynchronen Paralleltestmustern, bei denen mehrere Geräte an jeweils einem Standort auf einmal getestet werden, bietet die Multi-Parallel-Testmethode des S535 die Möglichkeit, mehrere auf verschiedene Standorte verteilte Geräte gleichzeitig zu testen. Dies reduziert die Indexzeit des Probers um den Faktor 2 und steigert dadurch die Produktivität, während gleichzeitig die Testkosten gesenkt werden.

Das parametrische Testsystem 540 ist ein voll automatisiertes parametrisches 48-Pin-Testsystem für Wafer-Level-Tests an Leistungshalbleitergeräten und -strukturen bis 3 kV. Das voll integrierte S540 ist für den Einsatz mit den neuesten Verbunds-Leistungshalbleitermaterialien wie Siliciumcarbid (SiC) und Galliumnitrid (GaN) optimiert und in der Lage, alle Hochspannungs-, Niederspannungs- und Kapazitätstests mit nur einer Abtastung auszuführen.

Integrierte Testsysteme S500 sind flexibel konfigurierbare, instrumentelle Systeme zur Halbleiter-Charakterisierung auf Komponenten-, Wafer- oder Kassettenebene. Basierend auf unserer bewährten Geräteausstattung bieten die integrierten Testsysteme S500 innovative Messfunktionen und Ihren Anforderungen entsprechende skalierbare Systemflexibilität. Die einzigartige Messfähigkeit, kombiniert mit der leistungsstarken und flexiblen ACS (Automatische Charakterisierungs-Suite)-Software, ermöglicht eine Vielzahl von Anwendungen und Funktionen, die kein anderes vergleichbares System auf dem Markt bietet. 

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Keithley Parametric Test Systems

S530 Merkmale

  • Problemlos anpassbar an neue Geräte und Prüfanforderungen
  • Schnelle, flexible, interaktive Prüfplanentwicklung
  • Kompatibel mit gängigen vollautomatischen Nadelmessplätzen
  • Optionen für 1 kV, C-V, Impulsgenerierung, Frequenzmessungen und Niederspannungsmessungen
  • Kompatibel mit dem Keithley-Nadelkartenadapter Modell 9139A
  • Unterstützt die Weiterverwendung bestehender 5-Zoll-Nadelkartenbibliotheken
  • Bewährte Gerätetechnologie gewährleistet hohe Messgenauigkeit und Wiederholbarkeit in Labor und Fertigung

Funktionen des S535

  • Automatische Ausführung aller parametrischen Gleichspannungstests auf Wafer-Ebene in einem parallelen Mehrfach-Standort-Vorgang oder einem seriellen Vorgang. Testen von zwei oder vier Standorten mit einem einzigen Aufsetzen des Tastkopfs.
  • Bis zu 64 Prüfstifte: 16 Stifte pro Standort bei parallelem Prüfen von vier Standorten; 32 Stifte pro Standort bei parallelem Prüfen von zwei Standorten; serielle Prüfung/ein Standort mit 64 Stiften
  • Bis zu 100 W: 100 V @ 1 A; 200 V @ 100 mA
  • 1 fA, 10-nV-Auflösung in vollautomatisierter Hochgeschwindigkeits-Testumgebung mit mehreren Stiften
  • Keithley-Testumgebungs-Systemsoftware (KTE) auf Linux-Basis gewährleistet die Kompatibilität mit früheren Keithley-Systemen und ermöglicht eine einfache Testentwicklung und schnelle Ausführung.
  • Prüfkarteninfrastruktur vom Typ Keithley S530 unterstützt außerdem S400-Anwendungen

S540 Merkmale

  • Automatische Ausführung aller parametrischen Wafer-Level-Tests an bis zu 48 Pins, einschließlich Durchbruchspannungs-, Kapazitäts- und Niederspannungsmessungen, mit nur einer Abtastung, ohne die Kabel oder die Tastkopfkarteninfrastruktur wechseln zu müssen
  • Durchführung von Transistorkapazitätsmessungen wie Ciss, Coss und Crss bis 3 kV ohne manuelle Neukonfiguration der Testpins
  • Erzielen einer Niedrigpegel-Messleistung in einer voll automatisierten Hochgeschwindigkeits-Testumgebung mit mehreren Pins
  • Keithley-Testumgebungs-Systemsoftware (KTE) auf Linux-Basis ermöglicht einfache Testentwicklung und schnelle Ausführung
  • Ideal für voll- oder halbautomatische Anwendungen bei Prozessintegration, Überwachung der Prozesssteuerung und bei verschiedenen Produktionsabläufen
  • Niedrigere Betriebskosten durch Minimierung von Testdauer, Testeinrichtungszeit und Nutzfläche bei gleichzeitigem Erreichen einer labortauglichen Messleistung

S500 Merkmale

  • Ganzbereichsspezifikationen für SMU (Source Measurement Unit)-Geräte, einschließlich Sub-Femtoampere-Messung, gewährleisten eine breite Palette von Messungen auf nahezu jedem Gerät.
  • Impulsgenerierung und ultraschnelle I-V-Tests zur Speichercharakterisierung, Ladungspumpen, Einzelimpuls-PIV (Ladungstrapping-Analyse) und PIV-Sweeps (Vermeidung der Selbsterwärmung).
  • Systeme mit niedriger oder hoher Kanalanzahl, einschließlich Paralleltest, mit systemfähigen und skalierbaren SMU-Geräten von Keithley.
  • Hochspannungs-, Strom- und Leistungsbeschaffung-Messgeräte zum Testen von Komponenten wie Leistungs-MOSFETs und Bildschirmtreiber.
  • Über Schaltungen, Nadelkarten und Kabel gelangt das System zum Prüfling.