Keithley Parametrische Testsysteme

Parametrische Testsysteme S530 sind für Produktions- und Laborumgebungen mit einer breiten Palette von Geräten und Technologien bestimmt und bieten branchenführende Prüfplanflexibilität, Automatisierung, Nadelmessplatz-Integration und Funktionen zur Prüfdatenverwaltung. Auf der Grundlage von mehr als 30 Jahren Expertenwissen hat Keithley eine breite Palette von Prüfgeräten für Standards und parametrische Tests für Kunden weltweit entwickelt und bereitgestellt.

Das Multi-Site-Wafer-Testsystem S535 ist eine leistungsfähige, hochauflösende Lösung für Tests von analogen Geräten, Spannungsgeräten Mixed-Signal-Geräten und Einzelbauelementen in Anwendungen des Fab-Workflows. Im Gegensatz zu herkömmlichen, asynchronen Paralleltestmustern, bei denen mehrere Geräte an jeweils einem Standort auf einmal getestet werden, bietet die Multi-Parallel-Testmethode des S535 die Möglichkeit, mehrere auf verschiedene Standorte verteilte Geräte gleichzeitig zu testen. Dies reduziert die Indexzeit des Probers um den Faktor 2 und steigert dadurch die Produktivität, während gleichzeitig die Testkosten gesenkt werden.

Das parametrische Testsystem 540 ist ein voll automatisiertes parametrisches 48-Pin-Testsystem für Wafer-Level-Tests an Leistungshalbleitergeräten und -strukturen bis 3 kV. Das voll integrierte S540 ist für den Einsatz mit den neuesten Verbunds-Leistungshalbleitermaterialien wie Siliciumcarbid (SiC) und Galliumnitrid (GaN) optimiert und in der Lage, alle Hochspannungs-, Niederspannungs- und Kapazitätstests mit nur einer Abtastung auszuführen.

Integrierte Testsysteme S500 sind flexibel konfigurierbare, instrumentelle Systeme zur Halbleiter-Charakterisierung auf Komponenten-, Wafer- oder Kassettenebene. Basierend auf unserer bewährten Geräteausstattung bieten die integrierten Testsysteme S500 innovative Messfunktionen und Ihren Anforderungen entsprechende skalierbare Systemflexibilität. Die einzigartige Messfähigkeit, kombiniert mit der leistungsstarken und flexiblen ACS (Automatische Charakterisierungs-Suite)-Software, ermöglicht eine Vielzahl von Anwendungen und Funktionen, die kein anderes vergleichbares System auf dem Markt bietet. 

keithley-logo

Keithley Parametric Test Systems

S530 Merkmale

  • Problemlos anpassbar an neue Geräte und Prüfanforderungen
  • Schnelle, flexible, interaktive Prüfplanentwicklung
  • Kompatibel mit gängigen vollautomatischen Nadelmessplätzen
  • Optionen für 1 kV, C-V, Impulsgenerierung, Frequenzmessungen und Niederspannungsmessungen
  • Kompatibel mit dem Keithley-Nadelkartenadapter Modell 9139A
  • Unterstützt die Weiterverwendung bestehender 5-Zoll-Nadelkartenbibliotheken
  • Bewährte Gerätetechnologie gewährleistet hohe Messgenauigkeit und Wiederholbarkeit in Labor und Fertigung

Funktionen des S535

  • Automatische Ausführung aller parametrischen Gleichspannungstests auf Wafer-Ebene in einem parallelen Mehrfach-Standort-Vorgang oder einem seriellen Vorgang. Testen von zwei oder vier Standorten mit einem einzigen Aufsetzen des Tastkopfs.
  • Bis zu 64 Prüfstifte: 16 Stifte pro Standort bei parallelem Prüfen von vier Standorten; 32 Stifte pro Standort bei parallelem Prüfen von zwei Standorten; serielle Prüfung/ein Standort mit 64 Stiften
  • Bis zu 100 W: 100 V @ 1 A; 200 V @ 100 mA
  • 1 fA, 10-nV-Auflösung in vollautomatisierter Hochgeschwindigkeits-Testumgebung mit mehreren Stiften
  • Keithley-Testumgebungs-Systemsoftware (KTE) auf Linux-Basis gewährleistet die Kompatibilität mit früheren Keithley-Systemen und ermöglicht eine einfache Testentwicklung und schnelle Ausführung.
  • Prüfkarteninfrastruktur vom Typ Keithley S530 unterstützt außerdem S400-Anwendungen

S540 Merkmale

  • Automatische Ausführung aller parametrischen Wafer-Level-Tests an bis zu 48 Pins, einschließlich Durchbruchspannungs-, Kapazitäts- und Niederspannungsmessungen, mit nur einer Abtastung, ohne die Kabel oder die Tastkopfkarteninfrastruktur wechseln zu müssen
  • Durchführung von Transistorkapazitätsmessungen wie Ciss, Coss und Crss bis 3 kV ohne manuelle Neukonfiguration der Testpins
  • Erzielen einer Niedrigpegel-Messleistung in einer voll automatisierten Hochgeschwindigkeits-Testumgebung mit mehreren Pins
  • Keithley-Testumgebungs-Systemsoftware (KTE) auf Linux-Basis ermöglicht einfache Testentwicklung und schnelle Ausführung
  • Ideal für voll- oder halbautomatische Anwendungen bei Prozessintegration, Überwachung der Prozesssteuerung und bei verschiedenen Produktionsabläufen
  • Niedrigere Betriebskosten durch Minimierung von Testdauer, Testeinrichtungszeit und Nutzfläche bei gleichzeitigem Erreichen einer labortauglichen Messleistung

S500 Merkmale

  • Ganzbereichsspezifikationen für SMU (Source Measurement Unit)-Geräte, einschließlich Sub-Femtoampere-Messung, gewährleisten eine breite Palette von Messungen auf nahezu jedem Gerät.
  • Impulsgenerierung und ultraschnelle I-V-Tests zur Speichercharakterisierung, Ladungspumpen, Einzelimpuls-PIV (Ladungstrapping-Analyse) und PIV-Sweeps (Vermeidung der Selbsterwärmung).
  • Systeme mit niedriger oder hoher Kanalanzahl, einschließlich Paralleltest, mit systemfähigen und skalierbaren SMU-Geräten von Keithley.
  • Hochspannungs-, Strom- und Leistungsbeschaffung-Messgeräte zum Testen von Komponenten wie Leistungs-MOSFETs und Bildschirmtreiber.
  • Über Schaltungen, Nadelkarten und Kabel gelangt das System zum Prüfling.
Measuring MOSFET Gate Charge Using the S530 and S540 Parametric Test Systems
This application note describes how to make gate charge measurements on a MOSFET based on the JEDEC Gate Charge Test Method.

Literaturnummer 1KW-61389-0
Anwendungshinweis
S530/S530-HV Parametric Test Systems

Literaturnummer 1KW-60240-1
Datasheet
S535 Multi-Site Wafer Acceptance Test System

Literaturnummer 1KW-61422-0
Datasheet
S540 Power Semiconductor Test System Datasheet
The Keithley S540 is a fully-automated, wafer-level parametric test system that can perform all high voltage, low voltage, low current, and capacitance tests up to 3kV in a single probe touch-down to maximize productivity and minimize cost of …

Literaturnummer 1KW-60909-1
Datasheet
S500 Data Sheet
Datasheet
KIGEM Automation Software Release Notes
The release notes for KIGEM 5.7.2b.

Keithley Instruments 300mm SECS/GEM Automation Interface (KIGEM) on the S530 Parametric Test system provides an interface that complies with both the traditional SECS/GEM standards and the newer set of 300mm SEMI standards. It allows S530 systems to be integrated into fully-automated semiconductor fabrication facilities.


Teilenummer KIGEM-910-01B
Versionshinweise
S530-S535-S540 KTE 5.8.2 Release Notes

This document contains information on enhancements, critical and noncritical fixes, and known issues for each released version of the Keithley Test Environment (KTE) software.


Teilenummer PA-1036V
Versionshinweise
Achieving Maximum Throughput with Keithley S530 Parametric Test Systems
Keithley Instruments is a world leader in the development of precision DC electrical instruments and integrated parametric test systems. Its expertise in parametric test technology goes back to the early days of the semiconductor industry and …
Anwendungshinweis
Wafer Level Reliability Systems
Broschüre
Greater Reliability Testing Confidence from Lab to Fab - Wafer Level Reliability Test Solutions
Keithley Instruments has long been an industry leader in both overall parametric test technology and wafer level reliability (WLR) testing. Several generations of Keithley’s parametric test solutions have offered WLR test algorithm libraries as …
Poster
Programming and Erasing Flash Memory Devices Using the Keithley S530 Pulse Generator Option
Anwendungshinweis
High Voltage Wafer Testing in a Production Environment with the HV S540 Parametric Test System

Literaturnummer 1KW-60936-2
Anwendungshinweis
Touch, Test, Invent with the Next Generation Current and Voltage Source-Measure Instruments
Datenblatt
Performing van der Pauw Sheet Resistance Measurements Using the Keithley S530 Parametric Tester
Anwendungshinweis
Understanding Control Systems and Communications for Today's Automobiles
Datenblatt
Multi-Site Parallel Testing with the S535 Wafer Acceptance Test System
In semiconductor wafer production, minimizing the cost of test has been identified as the number one challenge.  The biggest factor in the cost of test, as well as in the cost of test system ownership, is throughput of the tester/prober combination …

Literaturnummer 1KW-61423-0
Anwendungshinweis
Making Ring Oscillator Measurements with the Model S530 Parametric Test System's Frequency Measurement Option
Anwendungshinweis
Test Methods for Automobile Communication and Control Systems
Datenblatt
S530 Parametric Test System Specifications
S530 Parametric Test System Specifications

Literaturnummer SPEC-S530D
Technische Daten
S535 Wafer Acceptance Test System Specifications
Specifications document for S535 Wafer Acceptance Test System

Literaturnummer SPEC-S535A
Technische Daten
9139B Probe Card Adapter Gerber Files
Technische Daten
9140A Probe Card Adapter Gerber Files
Technische Daten
S530 Parametric Test Systems with KTE - Quick and Seamless Integration with Existing S400 and S600 Systems
Broschüre
S530 Semiconductor Parametric Test System: Cost effective, high throughput solutions
Datenblatt
S540 Power Semiconductor Test System Specifications
Specifications document for S540 Power Semiconductor Test System

Literaturnummer SPEC-S540A
Technische Daten
Gearing Up for Parametric Test's High Voltage Future
White Paper
9139B Probe Card Adapter
The 9139B-PCA Probe Card Adapter is an option for Keithley’s S530 and S535 Parametric Test Systems and S500 Integrated Test Systems.  It also provides probe-card compatibility with Keithley’s previous generation S400 Parametric Test System.

Literaturnummer 1KW-61585-0
Datasheet
S530 KTE Pulse Generator Manual
S530 KTE Pulse Generator Manual