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Keithley Parametrische Testsysteme

Die heutigen Analog- und Leistungshalbleiter-Technologien, einschließlich GaN und SiC, erfordern parametrisches Testen, das die Messleistung maximiert, eine breite Produktpalette unterstützt und die Testkosten minimiert. Seit über 40 Jahren meistert Keithley diese und weitere wichtige Herausforderungen in kritischen Anwendungen wie Prozessintegration, Überwachung der Prozesssteuerung, Die-Sortierung für die Produktion (z. B. Wafer-Akzeptanz oder "Known Good Die"-Prüfungen) und Zuverlässigkeit.

Die parametrischen Testsysteme der Serie S530 von Keithley mit KTE 7-Software bieten schnelle, vollständig flexible Konfigurationen, die mit neuen Anwendungen und sich ändernden Anforderungen mithalten können. Das S530 ermöglicht das Prüfen bei bis zu 200 V, und das S530-HV ermöglicht das Prüfen bei bis zu 1100 V an jedem Pin, wodurch der Durchsatz im Vergleich zu Konkurrenzlösungen um bis zu 50 % gesteigert werden kann. Ein neues Merkmal der KTE 7 ist ein optionaler Systemtestkopf, der Folgendes ermöglicht: ein direktes Andocken an einen Tastkopf und die Wiederverwendung älterer Prüfkarten; eine Kalibrierung auf Systemebene nach ISO-17025 am Pin, welche die Anforderungen der Automobilnorm IATF-16949 unterstützt; und einen einfachen und reibungslosen Migrationspfad von älteren S600- und S400-Systemen mit vollständiger Datenkorrelation und Geschwindigkeitsverbesserungen.

Das parametrische Testsystem 540 ist ein voll automatisiertes parametrisches 48-Pin-Testsystem für Wafer-Level-Tests an Leistungshalbleitergeräten und -strukturen bis 3 kV. Das voll integrierte S540 ist für den Einsatz mit den neuesten Verbunds-Leistungshalbleitermaterialien wie Siliciumcarbid (SiC) und Galliumnitrid (GaN) optimiert und in der Lage, alle Hochspannungs-, Niederspannungs- und Kapazitätstests mit nur einer Abtastung auszuführen.

Integrierte Testsysteme S500 sind flexibel konfigurierbare, instrumentelle Systeme zur Halbleiter-Charakterisierung auf Komponenten-, Wafer- oder Kassettenebene. Basierend auf unserer bewährten Geräteausstattung bieten die integrierten Testsysteme S500 innovative Messfunktionen und Ihren Anforderungen entsprechende skalierbare Systemflexibilität. Die einzigartige Messfähigkeit, kombiniert mit der leistungsstarken und flexiblen ACS (Automatische Charakterisierungs-Suite)-Software, ermöglicht eine Vielzahl von Anwendungen und Funktionen, die kein anderes vergleichbares System auf dem Markt bietet. 

 

keithley-logo

 

Keithley Parametrische Testsysteme

S530 – Merkmale

  • Flexible Tastkopf-Schnittstellenoptionen, einschließlich Testkopf, Unterstützung älterer Keithley- und Keysight-Installationen
  • KTE-Softwareumgebung gemäß Branchenstandard
  • Vollständige Prüfung von HV- und LV-Parametern mit einem einzigen Aufsetzen des Tastkopfs
  • Vollautomatische Kalibrierung auf Systemebene über neue Systemreferenzeinheit (System Reference Unit, SRU) entspricht neuesten Qualitätsstandards
  • Software-Tools zur Integritätsprüfung in KTE 7 maximieren die Systemverfügbarkeit und die Datenintegrität
  • Eingebauter Schutz vor Überspannungs- und/oder Überstromtransienten minimiert kostspielige Systemausfallzeiten und beschädigte Wafer
  • Erfüllt ISO-17025-Kalibrierungsanforderungen und unterstützt IATF-16949-Konformität
  • Bietet SECS/GEM-Integration bei der Fertigung von 300-mm-Wafern

Funktionen des S535

  • Automatische Ausführung aller parametrischen Gleichspannungstests auf Wafer-Ebene in einem parallelen Mehrfach-Standort-Vorgang oder einem seriellen Vorgang. Testen von zwei oder vier Standorten mit einem einzigen Aufsetzen des Tastkopfs.
  • Bis zu 64 Prüfstifte: 16 Stifte pro Standort bei parallelem Prüfen von vier Standorten; 32 Stifte pro Standort bei parallelem Prüfen von zwei Standorten; serielle Prüfung/ein Standort mit 64 Stiften
  • Bis zu 100 W: 100 V @ 1 A; 200 V @ 100 mA
  • 1 fA, 10-nV-Auflösung in vollautomatisierter Hochgeschwindigkeits-Testumgebung mit mehreren Stiften
  • Keithley-Testumgebungs-Systemsoftware (KTE) auf Linux-Basis gewährleistet die Kompatibilität mit früheren Keithley-Systemen und ermöglicht eine einfache Testentwicklung und schnelle Ausführung.
  • Prüfkarteninfrastruktur vom Typ Keithley S530 unterstützt außerdem S400-Anwendungen

S540 – Merkmale

  • Automatische Ausführung aller parametrischen Wafer-Level-Tests an bis zu 48 Pins, einschließlich Durchbruchspannungs-, Kapazitäts- und Niederspannungsmessungen, mit nur einer Abtastung, ohne die Kabel oder die Tastkopfkarteninfrastruktur wechseln zu müssen
  • Durchführung von Transistorkapazitätsmessungen wie Ciss, Coss und Crss bis 3 kV ohne manuelle Neukonfiguration der Testpins
  • Erzielen einer Niedrigpegel-Messleistung in einer voll automatisierten Hochgeschwindigkeits-Testumgebung mit mehreren Pins
  • Keithley-Testumgebungs-Systemsoftware (KTE) auf Linux-Basis ermöglicht einfache Testentwicklung und schnelle Ausführung
  • Ideal für voll- oder halbautomatische Anwendungen bei Prozessintegration, Überwachung der Prozesssteuerung und bei verschiedenen Produktionsabläufen
  • Niedrigere Betriebskosten durch Minimierung von Testdauer, Testeinrichtungszeit und Nutzfläche bei gleichzeitigem Erreichen einer labortauglichen Messleistung
  • Bietet SECS/GEM-Integration bei der Fertigung von 300-mm-Wafern

S500 – Merkmale

  • Ganzbereichsspezifikationen für SMU (Source Measurement Unit)-Geräte, einschließlich Sub-Femtoampere-Messung, gewährleisten eine breite Palette von Messungen auf nahezu jedem Gerät.
  • Impulsgenerierung und ultraschnelle I-V-Tests zur Speichercharakterisierung, Ladungspumpen, Einzelimpuls-PIV (Ladungstrapping-Analyse) und PIV-Sweeps (Vermeidung der Selbsterwärmung).
  • Systeme mit niedriger oder hoher Kanalanzahl, einschließlich Paralleltest, mit systemfähigen und skalierbaren SMU-Geräten von Keithley.
  • Hochspannungs-, Strom- und Leistungsbeschaffungs-Messgeräte zum Testen von Komponenten wie Leistungs-MOSFETs und Bildschirmtreibern.
  • Über Schaltungen, Nadelkarten und Kabel gelangt das System zum Prüfling.