Parameteranalysator Keithley 4200A-SCS

Parameteranalysator Keithley 4200A-SCS

Beschleunigen Sie die Forschungs-, Zuverlässigkeits- und Fehleranalysestudien für Halbleiterbauteile, Materialien und Prozessentwicklung mit dem 4200A-SCS. Als leistungsstärkster Parameter-Analysator bietet er synchronisierte Messungen für Strom-Spannung (I-U), Kapazität-Spannung (C-U) und ultraschnell gepulste I-U-Messungen.

KOSTENLOS auf Ihrem PC testen .

4200-promo-options

DC-Strom-Spannung
(I-U)-Bereich

10 aA bis 1 A
0,2 µV bis 210 V

Kapazität-Spannung
(C-U)-Bereich

1 kHz – 10 MHz
± 30 V DC Bias

Gepulster I-U
-Bereich

±40 V (80 V p-p), ±800 mA
200 MSa/Sek, 5 ns Abtastrate

 

Schnelle und eindeutige parametrische Erkenntnisse

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Nie war es einfacher, Ihre großen Entdeckungen herauszustellen. Der Parameter-Analysator 4200A-SCS vereinfacht Charakterisierung und Testeinrichtung um bis zu 50 % und bietet so eindeutige Mess- und Analysefähigkeiten ohne Kompromisse. Außerdem geben integrierte Messfachkenntnisse - ein Novum in der Branche - Hilfestellung beim Testen, sodass Sie sich ganz auf Ihre Ergebnisse verlassen können.

Highlights

  • Integrierte Messvideos auf Englisch, Chinesisch, Japanisch und Koreanisch
  • Einfacher Testeinstieg mit hunderten von Anwendungstests, die vom Benutzer angepasst werden können
  • Automatisierte Echtzeit-Parameterextraktion, Datendarstellung, arithmetische Funktionen

Messen. Umschalten. Wiederholen

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Das Mehrfachschaltmodul 4200A-CVIV wechselt automatisch zwischen I-U- und C-U-Messungen, ohne dass Sie neu verkabeln oder die Tastkopfspitzen von den Messpunkten entfernen müssen. Anders als Konkurrenzprodukte zeigt das 4-Kanal-Display des 4200A-CVIV lokale visuelle Einblicke zur schnellen Testeinrichtung und einfachen Fehlerbehebung an, wenn unerwartete Ergebnisse vorliegen.

Highlights

  • C-U-Messungen auf einen beliebigen Geräteanschluss verschieben, ohne neu verkabeln zu müssen
  • Benutzerkonfigurierbar für Schwachstromfunktionen
  • Bezeichnungen der Ausgangskanäle personalisieren
  • Teststatus in Echtzeit anzeigen

Charakterisieren. Anpassen. Maximieren.

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Einfach ausgedrückt, ist der 4200A-SCS vollständig anpassbar und vollständig aufrüstbar, sodass Sie die elektrische Charakterisierung und Evaluierung von Halbleiterbauteilen, neuen Materialien, aktiven/passiven Bauteilen, Wafer-Level-Zuverlässigkeit, Fehleranalyse, Elektrochemie oder praktisch aller Abtastungstypen ausführen können.

Highlights

  • NBTI/PBTI-Prüfung
  • Burst-Rauschen
  • Bauteile mit nichtflüchtigem Speicher
  • Potentiostat-Anwendungstest

Integrierte Lösung mit analytischen Tastköpfen und kältetechnischen Reglern

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Der Parameter-Analysator 4200A-SCS unterstützt zahlreiche manuelle und halbautomatische Wafer-Tastköpfe und kältetechnische Temperaturregler, darunter Cascade MicroTech, Lucas Labs/Signatone, MicroManipulator, Wentworth Laboratories, LakeShore Model 336.

Highlights

  • Testabfolge mit „Zeigen und Klicken“
  • „Manueller“ Tastkopfmodus testet die Tastkopffunktionalität
  • Fake-Tastkopfmodus ermöglicht das Debugging, ohne Befehle zu entfernen

Verringern Sie Kosten und schützen Sie Ihre Investitionen

Keithley-Servicepläne bieten schnellen, qualitativ hochwertigen Service zu einen Bruchteil der Kosten, verglichen mit einer Reparatur ohne Serviceplan. Ein Mausklick oder ein Anruf genügt, um die Abdeckung von Reparaturkosten zu erhalten – kein Zeitverlust durch die Erstellung von Angeboten, Bestellungen oder Auftragsbestätigungen.

Weitere Informationen

Datasheet Modell Beschreibung Verkaufspreis
Datenblatt ansehen 4200A-SCS-PK1
Hohe Auflösung bei I-U
210 V/100 mA, 0,1 fA Auflösung
zur Charakterisierung von Bauteilen mit zwei und drei Anschlüssen sowie zur MOSFET- und CMOS-Charakterisierung Paket 4200A-SCS-PK1 enthält:
  • Parameter-Analysator 4200A-SCS
  • (2) 4200-SMU-Modul
  • (1) Vorverstärker 4200-PA
  • (1) Testvorrichtung 8101-PIV mit Mustergeräten
Angebot anfordern
Datenblatt ansehen 4200A-SCS-PK2
, hohe Auflösung bei I-U und C-U
210 V/100 mA, 0,1 fA Auflösung, 1 kHz - 10 MHz
zur Charakterisierung von CMOS-Bauteilen mit Dielektrikum mit hohem k-Wert und Strukturen im Submikrometerbereich Paket 4200A-SCS-PK2 enthält:
  • Parameter-Analysator 4200A-SCS
  • (2) 4200-SMU-Modul
  • (1) Vorverstärker 4200-PA
  • (1) Kapazitäts-Spannungs-Modul 4210-CVU
  • (1) Testvorrichtung 8101-PIV mit Mustergeräten
Angebot anfordern
Datenblatt ansehen 4200A-SCS-PK3
Hohe Auflösung und Leistung bei I-U & C-U
210 V/1 A, 0,1 fA Auflösung, 1 kHz - 10 MHz
zur Charakterisierung von CMOS-Leistungsbauteilen mit Dielektrikum mit hohem k-Wert und Strukturen im Submikrometerbereich Paket 4200A-SCS-PK3 enthält:
  • Parameter-Analysator 4200A-SCS
  • (2) 4200-SMU-Modul
  • (2) 4210-SMU
  • (1) Vorverstärker 4200-PA
  • (1) Kapazitäts-Spannungs-Modul 4210-CVU
  • (1) Testvorrichtung 8101-PIV mit Mustergeräten
Angebot anfordern
Datenblatt ansehen 4200-BTI-A
Ultraschnelles NBTI/PBTI
Für anspruchsvolle NBTI- und PBTI-Messungen an neuester Silizium-CMOS-Technologie Paket 4200-BTI-A enthält:
  • (1) Ultraschnelles I-U-Modul 4225-PMU
  • (2) Remote-Vorverstärker-/Schaltmodule 4225-RPM
  • Software ACS (Automated Characterization Suite)
  • Ultraschnelles BTI-Testprojektmodul
  • Verkabelung
Angebot anfordern

Zuverlässigkeit der Halbleiter

Komplexe Zuverlässigkeitstests durchführen, während die 4200A-SCS die komplexe Codierung übernimmt. Mit enthaltenen Projekten wie Heißträger-Einspritzungszersetzung sind Sie im Hinblick auf die Geräteanalyse gut aufgestellt.

Highlights

  • Kombinieren Sie DC I-V-, C-V- und Impulsmessungen in einer Testreihe
  • Inklusive Unterstützung vieler Sondenstationen und externer Instrumente
  • Einfach zu bedienendes Zyklussystem für wiederhote Messungen ohne Programmierung

C-V-Messung für Anwendungen mit hoher Impedanz

Verwenden Sie die benutzerdefinierte Längstwellen-C-V-Methode von Keithley, um die Kapazität Ihrer Abtastung mit hohem Widerstand zu analysieren. Die Methode wird nur mit SMU-Geräten angewendet, kann jedoch mit einem 4210-CVU kombiniert werden, um Messungen höherer Frequenzen vorzunehmen.

Highlights

  • 0,01-10 Hz Frequenzbereich bei einer Empfindlichkeit von 1 pF bis 10 nF
  • 3,5-Stellen-Digitalauflösung, Mindestregelwert von 10 fF

Nichtflüchtiger Speicher

Prüfen Sie Ihre neuen Technologien mit der gründlichen I-V-Pulscharakterisierung. Die 4200A-SCS umfasst die Unterstützung und Bereitschaftstests für die neuesten NVRAM-Technologien von Floating-Gate-Flash bis ReRAM und FeRAM. Dualquellen- und Messfunktionen in Bereich Strom und Spannung ermöglichen die Charakterisierung von Transienten- und I-V-Domänen.

VCSEL Testing (VCSEL-Tests)

Mehrere, gleichzeitig bestehende SMU-Geräte in der 4200A-SCS vereinfachen die Laserdioden-Prüfungen. Generieren von LIV-Kurven (Light intensity-Current-Voltage; Lichtstärke-Strom-Spannung) mit Verbindungen zu nur einem Gehäuse. Erweiterte Sondenstation und Schalterunterstützung bedeutet, Sie können das gleiche Gerät für Waferproduktionsprüfung von einzelnen Dioden oder kompletten Arrays verwenden. SMUs können für bis zu 21 W für verschiedene unmodellierte VCSEL-Wellenanwendungen.

Charakterisierung von Geräten auf Nanoebene

Die Funktionen der integrierten Geräte des 4200A-SCS vereinfachen die Messanforderungen bei der Entwicklung von Elektronik auf Nanoebene, wie z  B. Kohlenstoff-Nanoröhrchen. Beginnen Sie mit Ihren Untersuchungen mit dem vorkonfigurierten Testprojekt und erweitern Sie Ihre Arbeiten von dort aus. Ein Impuls-Quellenmodus für SMUs hilft dabei, Überhitzungsprobleme zu verringern und kann in wenigen Sekunden mit einem Niederspannungs-C-V und ultraschnellen Impuls-Gleichstrommessungen kombiniert werden.

Widerstandsfähigkeit der Materialien

Verwenden Sie eine 4200A-SCS mit integrierten SMUs, um die Widerstandsfähigkeit mit einer kollinearen Vierpunkt-Messung oder der van-der-Pauw-Methode zu messen. Die enthaltenen Tests führen automatisch wiederholte van-der-Pauw-Berechnungen durch, sodass Sie wertvolle Forschungszeit sparen. Dank der maximalen Stromauflösung von 10 aA und einer Eingangsimpedanz von über 10­­­­16 Ohm erhalten Sie genauere und präzisere Ergebnisse.

MOSFET-Charakterisierung

Die 4200A-SCS kann alle zur vollständigen Charakterisierung von MOS-Geräten erforderlichen Geräte für Komponenten- oder Waferprüfungen umfassen. Enthaltene Prüfungen und Projekte lösen die Oxiddicke von MOSCap, Schwellenspannungen, Dotierstoffkonzentration, mobile Ionenkonzentration und vieles mehr. All dieses Tests können mit einem einzelnen Tastendruck über ein einzelnes Gerätegehäuse durchgeführt werden.

Datenblatt Modul Beschreibung Konfiguration und Angebot
4200-BTI-A ULTRASCHNELLES BTI-PKT Konfiguration und Angebot
4200-PA REMOTE-VORVERSTÄRKER-MODUL Konfiguration und Angebot
4200-SMU MITTELLEISTUNGS-SMU Konfiguration und Angebot
4200A-CVIV I-U/C-U-MEHRFACHSCHALTMODUL Konfiguration und Angebot
4210-CVU KAPAZITÄT-SPANNUNGSEINHEIT Konfiguration und Angebot
4210-SMU HOCHLEISTUNGS-SMU Konfiguration und Angebot
4220-PGU HOCHSPANNUNGSIMPULSGENERATOR Konfiguration und Angebot
4225-PMU ULTRASCHNELLES IMPULSMESSGERÄT Konfiguration und Angebot
4225-RPM REMOTE-VORVERSTÄRKER-/SCHALTERMODUL Konfiguration und Angebot
4200-SMU-R VOR ORT AUSTAUSCHBARE MPSMU Konfiguration und Angebot
4210-SMU-R VOR ORT AUSTAUSCHBARE HPSMU Konfiguration und Angebot
TitelArt
TECHNIQUES FOR MEASURING RESISTIVITY FOR MATERIALS CHARACTERIZATION
4200A-SCS PARAMATER ANALYZER APPLICATIONS GUIDEThis Materials Characterization Applications Guide offers tips and techniques for choosing between the Four-Point Collinear Probe or van Der Pauw methods for your resistivity measurements based on the type, shape, and thickness of your material and the…
Literature number: 1KW-60826-0
Anwendungshinweis 10 Nov 2018
4200A-SCS Clarius+ Software Suite V1.5
This version of Clarius+ is only supported on Microsoft Windows 10. If installed on the 4200A-SCS system with a Clarius+ release prior to V1.4, contact Keithley, a Tektronix company, at tek.com to upgrade the parameter analyzer.If installing on a personal…
Part number: 4200A-CLARIUS-V1.5
Application
4200-SCS KTEI V9.1 Service Pack 2

Part number: 4200-KTEI-V9.1SP2
Application
4200A-SCS Parameter Analyzer Datasheet

Literature number: 1KW-60780-4
Datenblatt
Using the Ramp Rate Method for Making Quasistatic C-V Measurements with the 4200A-SCS Parameter Analyzer
This application note describes how to implement and optimize quasistatic C-V measurements using the 4200A-SCS and the ramp rate method.
Literature number: 1KW-60639-0
Application Note 10 Nov 2018
van der Pauw and Hall Voltage Measurements with the 4200A-SCS Parameter Analyzer
This application note explains how to make resistivity measurements of semiconductor materials using the 4200A-SCS and the van der Pauw method.
Literature number: 1KW-60641-0
Application Note 10 Nov 2018
DC I-V and AC Impedance Testing of Organic FETs
This application note outlines how to optimize DC I-V and AC impedance measurements on OFETs using the 4200A-SCS Parameter Analyzer. Timing parameters, noise reduction, shielding, proper cabling, and other important measurement considerations for…
Literature number: 1KZ-61313-0
Application Note 10 Nov 2018
Model 4200A-SCS-PK2 Parameter Analyzer Quick Start Guide
The Quick Start Guide for the Keithley Instruments 4200A-SCS-PK2 provides unpacking and basic connection information. It also provides sample tests that you can use to familiarize yourself with the Parameter Analyzer.
Part number: 4200A-PK2-903-01A
Primary User
Model 4200A-SCS Clarius V1.4.1 Software Release Notes The Clarius+ software application suite is the software for the 4200A-SCS.…
Part number: 077132605
C‑V Characterization of MOS Capacitors Using the 4200A-SCS Parameter Analyzer
This application note discusses how to use a Keithley 4200A-SCS Parameter Analyzer equipped with the 4210-CVU Integrated C-V Option to make C‑V measurements on MOS capacitors. It also addresses the basic principlesof MOS caps, performing C‑V measurements…
Literature number: 1KW-60645-0
Application Note 10 Nov 2018
TECHNIQUES FOR MEASURING RESISTIVITY FOR MATERIALS CHARACTERIZATION
4200A-SCS PARAMATER ANALYZER APPLICATIONS GUIDEThis Materials Characterization Applications Guide offers tips and techniques for choosing between the Four-Point Collinear Probe or van Der Pauw methods for your resistivity measurements based on the type, shape, and thickness of your material and the…
Literature number: 1KW-60826-0
Application Note 10 Nov 2018
Model 4200A-SCS Semiconductor Characterization System Quick Start Guide
Brief introduction to the Keithley Instruments 4200A-SCS Parameter Analyzer, including unpacking and initial connection information.
Part number: 4200A-903-01A
Primary User
Model 4200-SCS Semiconductor Characterization System Declassification and Security Instructions
If you have data security concerns, this document tells you how to clear or sanitize the Keithley Instruments Model 4200-SCS Semiconductor Characterization System's memory devices. It also explains how to declassify an instrument that is not functioning.
Part number: 077134300
Declassification
Performing Very Low Frequency Capacitance-Voltage Measurements on High Impedance Devices Using the 4200A-SCS Parameter Analyzer
This application note describes the VLF C-V technique, explains how to make connections to the device under test (DUT,) shows how to use the provided software, and describes optimizing VLF C-V measurements using the Keithley 4200A-SCS Parameter Analyzer.
Literature number: 1KW-60644-0
Application Note 10 Nov 2018
An Ultra-Fast Single Pulse (UFSP) Technique for Channel Effective Mobility Measurement
This application note describes a novel Ultra-Fast Single Pulse technique (UFSP) [4, 5] for accurate mobility evaluation, including the technique principle, how to connect the device, and how to use the Clarius software in the 4200A-SCS Parameter Analyzer…
Literature number: 1KW-60643-0
Application Note 10 Nov 2018
Optimizing Low Current Measurements with the 4200A-SCS Parameter Analyzer
This application note describes Keithley’s best known methods and recommendations for optimizing low current measurements using the 4200A-SCS.
Literature number: 1KW-60636-0
Application Note 10 Nov 2018
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